表面清潔度儀是一種用于檢測物體表面清潔度的儀器。這種儀器可以檢查零件表面的清潔度，以確保零件的表面質量達到要求。它適用于各種工業領域，如汽車制造、航空航天、電子等，以確保生產過程中的零件質量。
德國析塔 SITA表面清潔度儀采用共焦法原理，通過光源發射出最佳波長的UV光檢測金屬表面的污染物，內置的傳感器精準探測污染物引起的熒光強度。該熒光強度的大小取決于基材表面有機物殘留情況，從而能精準量化檢測金屬表面清潔度。

熒光是一種發光形式，指在原子或分子激發后發光。在光子發射(光)的情況下，它被稱為光致發光。

為了激發熒光，采用紫外光源照射待測件表面。待測件表面上的污染物吸收高能量輻射。受光子激發，污染物的電子達到更高的能級激發態。激發的分子與其環境碰撞并釋放一小部分吸收的能量。剩余能量作為發射進行釋放，并且電子從激發態返回到其最初狀態。

發射的光子能量較低，因此釋放了長波。紫外線激發熒光，當污染物電子吸收了光子后能量提高，形成電子云層躍遷，由低能級躍遷到高能級。但在高能級的狀態是不穩定的，它回到最初的能級，并釋放出能量。由于部分能量轉化為熱量消耗了，所以發射的光子能量降低，波長變長。